Hardware ハードウェア製品

ハードウエア製品

ハードウエア製品一覧


自社製品

LSシリーズ

LSシリーズは、高密度プラズマを発生させることができ、なおかつ低ダメージプロセスが可能であるプラズマソースです。

LGシリーズ

プラズマ装置の排気系に接続し、排気ガスをプラズマ処理することによって温暖化係数の高いPFCガスをCO2、COF2、HFなどの温暖化係数が小さく処理しやすいガスに分解、再結合させる装置です。

インターフェース

LTCがこれまで培ってきた装置と電源に関する知識と経験、技術力を生かし、既存の装置に設置されている電源から、よりアークハンドリングに優れたAE製電源へ変更する際に必要となるインターフェースを製作することができます。


AE電源用ラックシステム

AE製電源用ラックシステムは、電源のシーケンサ制御プログラムを可能とし、各種成膜プロセスへ最適な電力供給を実現する情報通信ラックシステムです。


AE社製品

Crystalシリーズ(AC電源)

低周波Crystalシリーズは、安定した電力供給と高速アーク処理により、スループットの向上と歩留まりを改善することができるデュアルカソード用高出力低周波電源です。

SOLVIX(DC/DCパルス電源)

SOLVIX(DC/DCパルス電源)シリーズは様々な出力、出力周波数、パルスの有無や通信オプションを選択することができるDC/DCパルス電源です。

SOLVIX(バイアス電源/アーク電源)

SOLVIX(バイアス電源/アーク電源)シリーズは優れたプロセス制御により、高品質な成膜を 実現する電源です。

CESARシリーズ(RF電源)

CESARシリーズは安定したRF電力を提供するとともに、様々な特長や性能をユニークに組み合わせた品揃えが豊富なRF電源です。

Paramount (RF電源)

Paramountシリーズは、高精度出力技術と高速整合技術を搭載したRF電源です。

Ascent DMS(Ascent AMS専用パルス化アクセサリ)

Ascent DMSはAscent AMS(DC電源)と組み合わせることにより、DC出力をバイポーラパルスに変換する出力パルス化アクセサリです。

Ascent AMSシリーズ(DC電源)

Ascent AMSは、Pinnacle電源より更に最適化されたアーク処理技術によって、高再現性及び高品質の成膜を可能にするDC電源です。

PEⅡシリーズ(AC電源)

PEⅡシリーズは、アーク制御の強化と電源内部での整合機能を特長とする低周波電源装置です。

Pinnacle Plusシリーズ(DCパルス電源)

Pinnacle Plusシリーズは、スパッタシステム用のDCパルスマグネトロン電源です。高いアークハンドリング技術により、反応性スパッタにも使用可能です。

Pinnacleシリーズ(DC電源)

Pinnacleシリーズは、アークエネルギーが大幅に抑えられたスパッタシステム用のDCマグネトロン電源です。

GPi社製品

PPALS(イオンソース)

GPi製イオンソースPPALSは、独自の磁場設計技術により、高いエッチングレートを実現したイオンソースです。