DC1.5kWシステム

スパッタ成膜用DC電源。シーケンサによる制御が可能。成膜プロセスへの電力 供給を実現します。

DC10kWシステム

スパッタ成膜用DC電源。シーケンサによる制御が可能。成膜プロセスへの電力 供給を実現します。

DC20kWシステム

スパッタ成膜用DC電源。シーケンサによる制御が可能。成膜プロセスへの電力 供給を実現します。

DC30kWシステム

スパッタ成膜用DC電源。シーケンサによる制御が可能。成膜プロセスへの電力 供給を実現します。

DC40kWシステム

スパッタ成膜用DC電源。シーケンサによる制御が可能。成膜プロセスへの電力 供給を実現します。

DC50kW～システム

スパッタ成膜用DC電源。シーケンサによる制御が可能。成膜プロセスへの電力 供給を実現します。

パルスDC1.5kWシステム

スパッタ成膜用DC電源。シーケンサによる制御が可能。成膜プロセスへの電力 供給を実現します。

パルスDC5kWシステム

スパッタ成膜用DC電源。シーケンサによる制御が可能。成膜プロセスへの電力 供給を実現します。

パルスDC10kWシステム

スパッタ成膜用DC電源。シーケンサによる制御が可能。成膜プロセスへの電力 供給を実現します。

パルスDC20kWシステム

スパッタ成膜用DC電源。シーケンサによる制御が可能。成膜プロセスへの電力 供給を実現します。

パルスDC30kW～システム

スパッタ成膜用DC電源。シーケンサによる制御が可能。成膜プロセスへの電力 供給を実現します。

インターフェース

LTCがこれまで培ってきた装置と電源に関する知識と経験、技術力を生かし、既存の装置に設置されている電源から、よりアークハンドリングに優れたプラズマ電源へ変更する際に、装置側の改造なく電源のみ入れ替えられるようなインターフェースを制作することが出来ます。