Hardware ハードウェア製品

ハードウエア製品

Pinnacleシリーズは、アークエネルギーが大幅に抑えられたスパッタシステム用のDCマグネトロン電源です。

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特長

1.アーク発生時の放出エネルギー抑制
 ・アークエネルギーを1mJ/kW未満に抑え、アーク処理時間を短縮
 ・ハードアーク検出時間:1~3μs(他社製品の1/10)
2.アーク処理をプロセスに合わせて設定可能
 ・電圧トリップレベルなどの各種パラメータを設定可能
 ・各ターゲットにより、固定パラメータも設定可能
3.マスター/スレーブ機能
  (高出力の運転が要求される場合、6台まで接続可能、最大120kW:20kW×6台)

アプリケーション

主に金属ターゲットのスパッタリング
代表例:ITO,Ag,Cu,Cr,Ti,Pt,Au,その他

製品ラインナップ

6kW,10kW,12kW,20kW,6kW Dual,10kW Dual

製品スペック

機種 Pinnacle 6k Pinnacle 10k Pinnacle 12k Pinnacle 20k Pinnacle 6k Dual Pinnacle 10k Dual
最大出力電力 6kW 10kW 12kW 20kW 6k/6k 10k/10k
最大出力電圧 1000V 800V 1000V 800V 1000V 800V
最大出力電流 15A 25A 30A 50A 15A/15A 25A/25A
イグニッション電圧 1500V
入力電圧 AC208V±10%、三相、50/60Hz
制御モード 電力、電圧、電流
冷却方式 空冷
外形寸法 133×483×639(mm)
重量 22.5kg 22.5kg 30kg 30kg 30kg 30kg

 

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