Hardware ハードウェア製品

ハードウエア製品

Pinnacle Plusシリーズは、スパッタシステム用のDCパルスマグネトロン電源です。高いアークハンドリング技術により、反応性スパッタにも使用可能です。

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特長

1.優れたアークハンドリング技術により薄膜の損傷が減少
 ・反転電圧パルス変調(パルスDCを使用した場合の技術)
  パルスの各オフサイクル中にターゲットに蓄積された電荷の積極的な帯電除去を行う。
 ・アーク蓄積エネルギー<1mj/kW
2.成膜速度及びプロセス効率の向上
 ・AC電源と比較し、実際のスパッタリングプロセスに供給される電力の割合が高い。
  →プロセス時間を効率的に利用することができ、その結果成膜速度が向上する。
3.マスター/スレーブ機能(6台まで接続可能、最大60kW:10kW×6台)
4.複数台接続時の同期パルス出力運転
5.DCも出力可能

アプリケーション

リアクティブスパッタリング
金属ターゲットのアーク低減
代表例:ITO,ZnO,Nb2O3,Al,Ag,Cu,TiO2,その他

製品ラインナップ

5kW,10kW,5kW/5kW

製品スペック

機種 Pinnacle Plus 5k Pinnacle Plus 10k Pinnacle Plus 5k Dual
最大出力電力 5kW 10kW 5kW/5kW
最大出力電圧 650V 又は 800V
最大出力電流 15.4A 30.8A 15.4A/15.4A
イグニッション電圧 1700V
出力パルス周波数 5~350kHz
パルス・デューティ比 最大45%(On Duty)
パルス・反転時間 0.4~10.0μs(電圧制限あり)
パルス反転電圧 出力電圧の10%(固定)
制御モード 電力、電圧、電流
冷却方式 空冷
外形寸法 133×483×639(mm)
重量 21.4kg 30kg 30kg

 

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