Hardware ハードウェア製品

ハードウエア製品

PEⅡシリーズは、アーク制御の強化と電源内部での整合機能を特長とする低周波電源装置です。

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特長

1.定電力、定電流、定電力制御での運用が可能。
2.外部から出力インピーダンス範囲の切り替えが可能
3.6台までマスター/スレーブ構成が可能(最大60kW出力構成)
4.出力電流変動によるアーク検出機能

アプリケーション

絶縁膜のリアクティブスパッタリング
代表例:Si材によるSi02膜,Zn材によるZnO膜,Nb材によるNb2O3膜,Ti材によるTiO2膜など。
※デュアルカソードでの使用に好適です。

製品ラインナップ

5k,10k

製品スペック

機種 PEⅡ 5k PEⅡ 10k
最大出力電力 5kW 10kW
最大出力電圧 953Vrms
最大出力電流 16Arms 32Arms
出力周波数 40kHz ± 0.01%
入力電圧 AC208V±10%、三相、50/60Hz
制御モード 電力、電圧、電流
冷却方式 水冷
冷却水流量 8ℓ/min以上
外形寸法 177×483×597(mm)
重量 38kg 41kg

 

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