Hardware ハードウェア製品

ハードウエア製品

Ascent AMSは、Pinnacle電源より更に最適化されたアーク処理技術によって、高再現性及び高品質の成膜を可能にするDC電源です。

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特長

1.更に強化されたアーク処理技術(Arc Management System™)
 ・μアーク検出時のシャットダウン後に反転電圧を印加することにより、ターゲット上の残留電荷を素早く消失させます。
 ・シャットダウン後の復帰の際に勾配出力を行い、オーバーシュートによる2次アークを防止します。
 ・アーク蓄積エネルギー<0.4mj/kW
2.セットポイント補償機能
 ・アーク多発時のアーク処理によりスパッタレートが低下した場合に、出力補正を行い成膜量を回復させます。
  それによりターゲット使用開始から終了まで、均一な成膜レート、ライン速度を維持することが可能です。
3.マスター/スレーブ設定:最大12台まで接続可能
4.Ethernet、EtherCAT、 DeviceNet、 ProfibusやRS-232/485等の各種シリアル通信とアナログ通信対応

アプリケーション

金属ターゲットのスパッタリング,リアクティブスパッタリング
代表例:ITO,Ag,Cu,Cr,Ti,Pt,Au,その他

製品ラインナップ

30k,40k,60k

製品スペック

機種 Ascent AMS 30k Ascent AMS 40k Ascent AMS 60k
入力電圧 400V±10%、三相、50/60Hz
最大出力電力 30kW 40kW 60kW
最大出力電圧 1000V
最大出力電流 100A 120A
イグニッション電圧 1200V
制御モード 電力、電圧、電流
冷却方式 水冷 及び 空冷
外形寸法

267×432×584(mm) 19インチラック 6U

重量 61.5kg

 

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