Hardware ハードウェア製品

ハードウエア製品

CESARシリーズは安定したRF電力を提供するとともに、様々な特長や性能をユニークに組み合わせた品揃えが豊富なRF電源です。

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特長

1.稼働/運用時間の向上
 ・信頼性の高い部品を使用し、さらに構成部品を極力減らすことにより、故障リスクを抑えています。
 ・E級動作により発熱を抑え本体へのストレスを抑えています。
2.手動操作に併せ、外部制御も容易に可能。
3.RS-232、Ethernet及びProfibusの各種シリアル通信対応
4.CEX(位相同期)運転モードが可能

アプリケーション

半導体向けCVD,エッチング等のPVD等

製品ラインナップ

2MHzタイプ… 600W , 1kW , 2kW , 2.5kW , 3kW , 5kW
4MHzタイプ… 600W , 1kW , 2kW , 2.5kW , 3kW , 5kW
13.56MHzタイプ… 300W , 600W , 1kW , 1.2kW , 2kW , 2.5kW , 3kW , 5kW
27.12MHzタイプ… 300W , 600W , 1kW , 2kW , 4kW
40.68MHzタイプ… 300W , 500W , 1kW , 2kW , 4kW

製品スペック

機種 CESAR 02xx CESAR 04xx CESAR 13xx CESAR 27xx CESAR 40xx
基本出力周波数 2MHz 4MHz 13.56MHz 27.12MHz 40.68MHz
出力 600W 600W 300w 300W 300W
1kW 1kW 600W 600W 500W
2kW 2kW 1kW 1kW 1kW
2.5kW 2.5kW 1.2kw 2kW 2kW
3kW 3kW 2kW 4kW 4kW
5kW 5kW 2.5kW - -
- - 3kW - -
- - 5kW - -
入力電圧 300W~1200W…AC187~253V、単相
2kW~5kW…AC180~230V or 360~440V、三相
冷却方式 300W~1.2kW…空冷 / 2kW~5kW…水冷
外径寸法 300W~1.2kW…483x500x88(mm)  /  2kW~5kW…483x552x132(mm)

※機種名のxxは仕様により数字が当てはめられます。

  例1)13.56MHz,5kW仕様の場合…CESAR1350

  例2)2MHz,2.5kWの仕様の場合…CESAR0225

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