Hardware ハードウェア製品

ハードウエア製品

Ascent DMSはAscent AMS(DC電源)と組み合わせることにより、DC出力をバイポーラパルスに変換する出力パルス化アクセサリです。

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特長

1.DC出力をバイポーラパルス(矩形波のAC)へ変換し、AC電源との置き換えと可能とする。
2.優れたアーク処理技術により、アークエネルギー1mJ/kW未満を実現
3.複数のカソードの同期運転が可能。
4.マスター/スレーブ運転が可能(最大180kWまで対応)

アプリケーション

絶縁膜のリアクティブスパッタリング
代表例:Si材によるSi02膜,Zn材によるZnO膜,Nb材によるNb2O3膜,Ti材によるTiO2膜など。
※デュアルカソードでの使用に好適です。

製品ラインナップ

AscentAMS 30kW,40kW,60kWに接続可能

製品スペック

AC入力電圧

85~264Vac 単相三線式

最大DC入力電力

60kW

最大DC入力電流

150A

最大AC出力電圧

1000Vrms/1300Vpeak

最大AC出力電流

175Arms

出力周波数

0.5~50kHz

Duty比

5~95%

出力方式

バイポーラ

冷却方式

水冷 及び 空冷

冷却水流量

22.7ℓ/min以上

外形寸法

261×466×587(mm)

重量

約50㎏

 

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