Hardware ハードウェア製品

ハードウエア製品

Paramountシリーズは、高精度出力技術と高速整合技術を搭載したRF電源です。

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特長

1.高精度RF出力/インピーダンス測定技術搭載
 ・高反射においても高いRF出力測定精度
 ・HALO(低出力時の高精度出力)仕様対応
2.パルス出力/同期運転が可能
3.高速整合を実現した周波数チューニング
 ・整合時間が0.01秒以下(従来の可変マッチングネットワーク方式1秒以上)
 ・整合器の簡素化(コスト削減)
4.アークマネージメント機能

アプリケーション

スパッタリング(絶縁性ターゲット)、PECVD、エッチング、各種プラズマ処理

製品ラインナップ

PMNT-1513, 3013, 6013

製品スペック

機種 Paramount 1513 Paramount 3013 Paramount 6013
RF出力範囲 5~1500W 5~3000W 60~6000W
基本出力周波数 12.882~14.238MHz
RF出力精度
(1.1:1VSWR)
±1.0%(設定)又は±1.0W(出力) ±1.0%(設定)又は
±6.0W(出力)
RF出力精度
(3:1VSWR)
±2.0%(設定)又は±1.0W(出力) ±2.0%(設定)又は
±6.0W(出力)
入力電圧 AC208V±10% , 三相、 50/60Hz±3Hz
外径寸法(mm) 133x216x443 133x483x644
重量 16kg 37kg

 

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