Hardware ハードウェア製品

ハードウエア製品

プラズマ装置の排気系に接続し、排気ガスをプラズマ処理することによって温暖化係数の高いPFCガスをCO2、COF2、HFなどの温暖化係数が小さく処理しやすいガスに分解、再結合させる装置です。

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特長

・チャンバー・電源一体型のコンパクト設計
・予備運転不要。ガス導入時にON。簡単操作
・省エネルギー、低ランニングコスト
・装置1台単位の段階的な導入が可能
・プラズマ発生時間30msのクイックスタート
・プロセスへの影響がなく、バイプロダクトの発生も最小限に抑えます。

アプリケーション

・アッシャ装置
・酸素ラジカル応用装置
・リモートプラズマ
・CVDプラズマソース

製品ラインナップ

LG3000Plus/LG4000

製品スペック

 

  LG3000 Plus LG4000
入力電圧 AC200V (180~220V) 単相 50/60Hz
出力電力 3400W 4000W
RF周波数 1.8~2.2MHz ※1
使用可能ガス  PFCs,SF6 , NF3 , H2 ,O2 , N2 , H2O  , Ar(※2) , He(※2)
排気系圧力 O2:0.5~2.0Torr 最大流量=約2500sccm(<1.0Torr )※3、4 O2:0.5~2.0Torr 最大流量=約2700sccm(<1.0Torr) ※3、4
水冷流量 2.5 ℓ/min < 3.0 ℓ/min <
寸法 400×412×254mm ※5
重量 約32kg

 

※1…周波数は適切な負荷マッチングを取るために自動調整されます。  
※2…100%Arガス及び100%Heガスではプラズマを発生させないで下さい。  
※3…御希望により、運転圧力範囲の調整が可能です。詳細はお問い合わせください。
※4…圧力範囲はガス種によって大きく変わりますので、お問い合せください。
※5…突起部は含まれておりません。

 

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