Hardware ハードウェア製品

ハードウエア製品

SOLVIX(DC/DCパルス電源)シリーズは様々な出力、出力周波数、パルスの有無や通信オプションを選択することができるDC/DCパルス電源です。

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特長

1.クラス最高品質のアークハンドリング
2.高い精度と再現性
  精度:<0.5%
  再現性:<0.2%
3.RS-232/RS-485/Profibus/Ethernet通信プロトコル対応

アプリケーション

・反応性スパッタリング
  代表例:金属膜およびTCO膜(AZO、ZNO、ITO等)
・ソーラーパネル、FPD、ガラスなどのスパッタリング、およびハードコーティング

製品ラインナップ

3~40kW(下記表参照)

製品スペック

機種 Solvix by AE DC Power Supplies Solvix by AE Medium-Frequency
Pulsed-DC Power Supplies
Solvix by AE High-Frequency
Pulsed-DC Power Supplies
最大出力電力 3,6,10(*1),15(*1),20,30 kW 40kW 10,15,30 kW 3,5,10,20 kW
最大出力電圧 20~700VDC 20~800VDC 20~1000 VDC 20~700 VDC
出力パルス周波数 - 1~30kHz 5~350kHz
パルス・デューティ比 - 1~99% 50~100%
制御モード 電力、電圧、電流
入力電圧 400VAC,3相,50/60Hz

*1…SingleもしくはDual

 

出力 3kW(*2) 6kW 10kW 15kW 20kW 20kW(*3) Dual 10kW Dual 15kW 30kW 20/40kW(*4)
外形寸法 17.8 cm (H) x 48.4 cm (W) x 68.0 cm (D) 26.5 cm (H) x 48.4 cm (W) x 68.3 cm (D)
重量 29~40kg 40~76kg
冷却方式 空冷 水冷

*2…Depthの寸法は62.2cm

*3…パルスDC時

*4…ICE仕様の場合は70.0cm

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