Hardware ハードウェア製品

ハードウエア製品

SOLVIX(バイアス電源/アーク電源)シリーズは優れたプロセス制御により、高品質な成膜を
実現する電源です。

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特長

1.クラス最高品質のアークハンドリング
2.高い精度と再現性
  ・バイアス電源 ⇒ 安定した定電圧制御を実現します。(LFシリーズ)
    精度:<0.5%
    再現性:<0.2%
  ・アーク電源 ⇒ パルス電流出力(オプション)により、Droplet(ドロップレット)を低減します。
    精度:<1%
    再現性:<0.5%
3.多彩なプロセス要件に対応
  バイアス電源:3~30kW
  アーク電源 :60A(3kW)、100A(3kW)、210A(6kW)、400A(12kW)
4.RS-232/RS-485/Profibus/Ethernet通信プロトコル対応

アプリケーション

・イオンプレーティング
・アークイオンプレーティング
・ハードコーティング
代表例:TiN, TiCN, ALTiN, ALCrSiN, TiB2 , CrN, その他

製品ラインナップ

バイアス電源:3~30kW
アーク電源 :60A(3kW)、100A(3kW)、210A(6kW)、400A(12kW)

製品スペック

バイアス電源

  Solvix by AE
DC Bias Power Supplies
Solvix by AE
Medium-Frequency
Pulsed-DC
Bias Power Supplies
Solvix by AE
High-Frequency Pulsed-DC
Bias Power Supplies
出力電圧 20~1000VDC 20~700VDC
出力電力 6,10,15,30kW 10,15,30kW 3,5,10,20kW
出力周波数 - 1~30kHz 5~350kHz
制御モード 電流、電力、電圧
Duty比 - 1~99% 50~100%
入力電圧 400VAC,3相,50/60Hz

 

  3kW(※) 6kW 10kW 15kW 20kW 30kW
外形寸法 17.8 cm (H) x 48.4 cm (W) x 68.0 cm (D) 26.5 cm (H) x 48.4 cm (W) x68.3 cm (D) 
重量 29 ~ 40 kg  67 kg
冷却方式 空冷

※Depthの寸法は62.2cm

 

 

アーク電源

  Solvix by AE Arc Power Supplies
出力電流 0~60A 0~100A 0~210A 0~400A
出力電力 3kW 6kW 12kW
開放電圧 100VDC 60VDC
制御モード 電流
パルス電流周波数
(オプション)
1~200Hz(1Hz毎に調整可能)
Duty比(オプション) 1~99%
入力電圧 400~480VAC,3相,50/60Hz
外形寸法 17.8 cm (H) x 48.4 cm (W) x 62.0 cm (D)
重量 31.5kg
冷却方式 空冷

 

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