Hardware ハードウェア製品

ハードウエア製品

低周波Crystalシリーズは、安定した電力供給と高速アーク処理により、スループットの向上と歩留まりを改善することができるデュアルカソード用高出力低周波電源です。

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特長

1.最適化されたプロセスの安定性で歩留まりの改善
 1-1.低アークダメージ
     ・業界最速のアークハンドリングとリカバリ
     ・業界最低のアークエネルギー(1mJ/kW…競合の1/5に抑制)
 1-2.高出力でも保たれる高い安定性
 1-3.業界をリードする高い再現性と精度
2.スループットの向上
 ・高速アーク処理によりプロセスのダウンタイムを短縮
 ・適切なアーク処理と広い出力範囲、安定した電力の供給により、より高い成膜速度を実現

アプリケーション

絶縁膜のデュアルカソードリアクティブスパッタ
代表例:Si材によるSi02膜/Si3N4膜,Zn材によるZnO膜,Nb材によるNb2O3膜,Ti材によるTiO2膜など

製品ラインナップ

60k,100k,120k,150k,180k

製品スペック

機種 Crystal  60k Crystal 100k Crystal 120k Crystal 150k Crystal 180k

定格

出力電力

60kW (90kVA) 100kW (180kVA) 120kW (180kVA) 150kW (270kVA) 180kW (270kVA)

最大

出力電圧

1100VRMS 1460VRMS

最大

出力電流

220ARMS 467ARMS 700ARMS

出力

周波数

40~60kHz(最小電力出力時に最大100kHz)
入力電圧 AC480VRMS±10%、
(IEC38規格による)
AC400VRMS±10%、三相
AC480VRMS±10%、三相

最大

入力電流

95A(480V入力時) 190A(400V入力時)
160A(480V入力時)
230A(400V入力時)
190A(480V入力時)
290A(400V入力時)
240A(480V入力時)
340A(400V入力時)
280A(480V入力時)

制御

モード

電力、電圧、電流
冷却方式 空冷+水冷

冷却

水流量

34 ℓ/min以上 42 ℓ/min以上 53 ℓ/min以上
外形寸法 2096×597×724(mm) 2096×1207×769(mm) 2096×1207×769(mm) 2096×1207×769(mm) 2217×1524×769(mm)
重量 680.4kg 907kg 1180kg

 

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