パルスDC1.5kWシステム
スパッタ成膜用DC電源。シーケンサによる制御が可能。成膜プロセスへの電力 供給を実現します。
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特長
1. 電源をシーケンサ制御プログラムで制御可能にし、各種成膜プロセスへ最適な電力供給を実現します。
2. お客様のニーズに合わせた仕様で製作が可能です。
アプリケーション
スパッタリング
実装機器
・シーケンサ
・漏電ブレーカー
・スパッタ用電源
製品スペック
定格電力 1.5kW
19インチEIAキャビネットラック実装
