Crystalシリーズ(AC電源)

低周波Crystalシリーズは、安定した電力供給と高速アーク処理により、スループットの向上と歩留まりを改善することができるデュアルカソード用高出力低周波電源です。

SOLVIX(DC/DCパルス電源)

SOLVIX(DC/DCパルス電源)シリーズは様々な出力、出力周波数、パルスの有無や通信オプションを選択することができるDC/DCパルス電源です。

SOLVIX(バイアス電源/アーク電源)

SOLVIX(バイアス電源/アーク電源)シリーズは優れたプロセス制御により、高品質な成膜を 実現する電源です。

CESARシリーズ(RF電源)

CESARシリーズは安定したRF電力を提供するとともに、様々な特長や性能をユニークに組み合わせた品揃えが豊富なRF電源です。

Paramount (RF電源)

Paramountシリーズは、高精度出力技術と高速整合技術を搭載したRF電源です。

Ascent DMS(Ascent AMS専用パルス化アクセサリ)

Ascent DMSはAscent AMS(DC電源)と組み合わせることにより、DC出力をバイポーラパルスに変換する出力パルス化アクセサリです。

Ascent AMSシリーズ(DC電源)

Ascent AMSは、Pinnacle電源より更に最適化されたアーク処理技術によって、高再現性及び高品質の成膜を可能にするDC電源です。

PEⅡシリーズ(AC電源)

PEⅡシリーズは、アーク制御の強化と電源内部での整合機能を特長とする低周波電源装置です。

Pinnacle Plusシリーズ(DCパルス電源)

Pinnacle Plusシリーズは、スパッタシステム用のDCパルスマグネトロン電源です。高いアークハンドリング技術により、反応性スパッタにも使用可能です。

Pinnacleシリーズ(DC電源)

Pinnacleシリーズは、アークエネルギーが大幅に抑えられたスパッタシステム用のDCマグネトロン電源です。

PPALS(イオンソース)

GPi製イオンソースPPALSは、独自の磁場設計技術により、高いエッチングレートを実現したイオンソースです。