LGシリーズ

プラズマ装置の排気系に接続し、排気ガスをプラズマ処理することによって温暖化係数の高いPFCガスをCO2、COF2、HFなどの温暖化係数が小さく処理しやすいガスに分解、再結合させる装置です。

LSシリーズ

LSシリーズは、高密度プラズマを発生させることができ、なおかつ低ダメージプロセスが可能であるプラズマソースです。

スパッタ装置用電源ラックシステム

スパッタ成膜装置で使われるプラズマ電源ラックシステムは、電源のシーケンサ制御プログラムを可能とし、各種成膜プロセスへ最適な電力供給を実現する情報通信ラックシステムです。

インターフェース

LTCがこれまで培ってきた装置と電源に関する知識と経験、技術力を生かし、既存の装置に設置されている電源から、よりアークハンドリングに優れたプラズマ電源へ変更する際に、装置側の改造なく電源のみ入れ替えられるようなインターフェースを制作することが出来ます。