プラズマ装置の排気系に接続し、排気ガスをプラズマ処理することによって温暖化係数の高いPFCガスをCO2、COF2、HFなどの温暖化係数が小さく処理しやすいガスに分解、再結合させる装置です。
LTCがこれまで培ってきた装置と電源に関する知識と経験、技術力を生かし、既存の装置に設置されている電源から、よりアークハンドリングに優れたAE製電源へ変更する際に必要となるインターフェースを製作することができます。
Pinnacle3 Plus+シリーズは、スパッタシステム用のDCパルスマグネトロン電源です。高いアークハンドリング技術により、反応性スパッタにも使用可能です。
Ascent SMS/DMS AP Seriesは、広い電圧範囲と低アークエネルギー、優れた制御性と安定性を備えたシングル/デュアルカソード用のパルスDC電源及びバイポーラパルス電源のシリーズです。
Ascent DMS(Ascent AMS専用パルス化アクセサリ)
Ascent DMSはAscent AMS(DC電源)と組み合わせることにより、DC出力をバイポーラパルスに変換する出力パルス化アクセサリです。