スパッタ成膜用DC電源。シーケンサによる制御が可能。成膜プロセスへの電力 供給を実現します。
特長
1. 電源をシーケンサ制御プログラムで制御可能にし、各種成膜プロセスへ最適な電力供給を実現します。 2. お客様のニーズに合わせた仕様で製作が可能です。
アプリケーション
スパッタリング
実装機器
・シーケンサ ・漏電ブレーカー ・スパッタ用電源
製品スペック
定格電力 20kW
19インチEIAキャビネットラック実装