インターフェース
LTCがこれまで培ってきた装置と電源に関する知識と経験、技術力を生かし、既存の装置に設置されている電源から、よりアークハンドリングに優れたプラズマ電源へ変更する際に、装置側の改造なく電源のみ入れ替えられるようなインターフェースを制作することが出来ます。
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特長
・培った知識と経験、技術力を生かし、
既存装置とプラズマ電源の互換性を持たせます。
※製作には仕様等についての調査が必要です。弊社にご相談下さい。
アプリケーション
スパッタリング装置
実装機器
※お客様の使用装置に合わせて作成いたします。弊社にご相談下さい。
製品スペック
※お客様使用の装置に合わせて作成いたします。弊社にご相談下さい。
